硬體服務

1 

槽體

       motor/controller type 變更改造

       加裝內襯槽（預防藥液外漏）

       更換石英槽

       磷酸加熱器filter /in-line heater drain追加

       槽體管路更換

2

機構

       停產品替換改造

       底板防漏補強（藥液外漏腐蝕）

       機台骨架修復、封板翻新

       Robot行程變更

3

補水變更方式、增加各式interlock、 取樣盒樣式變更、filter or pump固定座變更、乾燥機加裝風扇

​

4

拆裝機