​面板事業群

由於In-Line MOR已無使用但因常故障導致產能下降因此保留硬體而外掛新系統只做傳送

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為減少STRRIPER的使用量修改機台程式讓強制排液可隨Recipe自行調整排液量以減少浪費

由於風刀風壓來自Blower Fan導致風壓不足造成產品異常 將風刀改成雙風刀並以廠務CDA為來源

客製化清洗機

為避免Coating Nozzle在光阻塗佈時被異物損傷在Coating Nozzle上安裝異物檢知系統

由於顯影在水平傳送轉傾斜傳送時造成水草mura 新增Side nozzle以解決此一現象

應終端客戶的要求協助客戶在水槽內安裝水阻計並上拋KPC以便偵測水阻值確保產品良率 

為了降低生產成本將清洗SC的有機溶劑回收再利用

為能更精確控制PR濃度將客戶自行撰寫PR濃度預測的軟體與設備連結精準預測光阻濃度