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軟體服務

1 

PC

    設備介面

           Log、Operation、Parameter…操作畫面

           Web Server型式-操作畫面

    通訊

           SECS/GEM

           SECS-E84

           Socket通訊介接

           WebAPI通訊介接

    排程(Schedule)

          單Load port(一進一出)

          四Load port (同進同出)

2

PLC

    軸控

          Robot行程變更

          Load/UnLoad流程變更

    槽體

          酸水補液、換酸變更

          Recipe供酸修正

          Over-dip prevention function

    PLC 廠牌變更

    Stocker設計

3

軟體翻新

    SCT、Kaijo、SeS Wet bench機台PC、PLC翻新

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